首页 公司概况 产品信息 企业之声 股东专栏 招聘信息 联系我们
 
首页 / 产品信息 / 产品参数 / 直拉硅抛光片
 
 
 --直拉硅抛光片
 --区熔单晶硅
 --大直径单晶硅棒(片)
 生产能力
 
300mm
300mm epi
Type
P,N
P,N
Orientation
<100>
<100>
Dopant
B,P
B,P
Resistivity(Ω . cm)
0.5-100
0.1-50
Thickness(μ m)
775±25
775±25
Front Surface
Polished
Epi
STIR(μ m)
SFQR<0.15μm,25mm×25mm
SFQR<0.15μm,25mm×25mm
TTV(μ m)
GBIR<2μm
GBIR<2μm
Particle
<100,@0.12μm
<100,@0.12μm
Back Surface
Polished
Polished

200mm
150mm
Type
P,N
P,N
Orientation
<100>,<111>
<100>,<111>
Dopant
B,P,AS,Sb,Red Phos
B,P,AS,Sb,Red Phos
Resistivity(Ω . cm)
P/B     0.0035-90
N/As      0.001-0.005
N/Sb     0.005-0.1
N/P     0.07-70
N/Red P     0.0007-0.0018
Thickness(μ m)
625,675,725
375,450,525,625,675
Front Surface
Polished
Polished
STIR(μ m)
<1.2 , 25mm×25mm
<1 , 15mm×15mm
TTV(μ m)
<4
2.5-3
Particle
<10,@0.2μm
<10,@0.3μm
Back Surface
BSD,Poly back,SiO2,Ethed
BSD,Poly back,SiO2,Ethed

125mm
100mm
Type
P,N
P,N
Orientation
<100>,<111>
<100>,<111>
Dopant
B,P,AS,Sb,Red Phos
B,P,AS,Sb,Red Phos
Resistivity(Ω . cm)
P/B     0.0035-90
N/As      0.001-0.005
N/Sb     0.005-0.1
N/P     0.07-70
N/Red P     0.0007-0.0018
Thickness(μ m)
290,375,450,525,625
290,350,450,525
Front Surface
Polished
Polished
STIR(μ m)
1-1.5 , 15mm×15mm
1-2.0 , 15mm×15mm
TTV(μ m)
<4
<4
Particle
<10,@0.3μm
<10,@0.3μm
Back Surface
BSD,Poly back,SiO2,Ethed
BSD,Poly back,SiO2,Ethed

 
监事会成员简历 高级管理人员简历 董事会成员简介 高级管理人员简历 董事会成员简历 监事会成员简历